한국환경산업기술원은 세이브기술(주)의 "대용량 육불화황 (SF6) 및 불화가스 고효율 직화 열분해기술"을 녹색기술로 인증했다고 밝혔다.

육불화황은 반도체나 LCD공정 등에서 배출되는 지구온난화물질이다. 지구온난화에 미치는 영향이 이산화탄소의 23,900배(동일량 기준)에 이르지만 이 물질에 대한 배출허용기준이 정해져 있지 않아 대부분 별도 처리 없이 대기중으로 방출되어 왔다.

이번에 녹색기술로 인증된 세이브기술(주)의 기술은 1250℃~1350℃의 고온의 반응기 내에서 육불화황을 열분해한 후 급속 냉각하여 제거하는 기술이다. 다이옥신과 같은 2차 오염물질 생성 우려가 없으며, 대용량(30㎥/min이상)의 육불화황 처리가 가능하고 온도 조건에 따라 95% 이상의 육불화황 제거가 가능하다.

한국환경산업기술원은 “세이브기술(주)의 육불화황 열분해 기술은 국내 최초로 실제 현장에 적용되어 안정적인 처리성능이 입증되었다는 점에서 기술적 가치가 있으며, 향후 반도체 등 관련 분야로의 확대 적용 가능성이 높고, 지구온난화 물질의 제거라는 측면에서 녹색성이 크게 인정되어 녹색기술로 인증하였다” 고 덧붙였다.

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